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薄膜测厚仪

产品时间:2020-06-12

产品型号:OPTM

厂商性质:生产厂家

简要描述:

薄膜测厚仪,非接触、非破坏、显微测量目标膜的绝对反射率,高精度测量膜厚和光学常数,实现高性能、高再现性。

 OPTM series薄膜测厚仪

 

大塚电子薄膜测厚仪使用显微光谱法在微小区域内通过绝对反射率进行测量,可进行高精度膜厚度/光学常数分析。

可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上,能达到1/点的高速测量,并且搭载了即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件

 

特点

  • 头部集成了薄膜厚度测量所需功能
  • 通过显微光谱法测量高精度绝对反射率(多层膜厚度,光学常数)
  • 11秒高速测量
  • 显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)
  • 区域传感器的安全机制
  • 易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析
  • 独立测量头对应各种inline客制化需求
  • 支持各种自定义

 

 

OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

波長范围

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

膜厚范围

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

测定时间

1秒 / 1点

光斑大小

10μm (最小约5μm)

感光元件

CCD

InGaAs

光源規格

氘灯+卤素灯  

卤素灯

电源規格

AC100V±10V 750VA(自动样品台规格)

尺寸

555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分)

重量

约 55kg(自动样品台规格之主体部分)

 

测量项目:

  • 绝对反射率测量
  • 多层膜解析
  • 光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)

 

 

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