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线扫描膜厚仪离线型

产品时间:2020-06-12

产品型号:

厂商性质:生产厂家

简要描述:

线扫描膜厚仪离线型采用线扫描方式可同时测量500点膜厚,实现全宽测量。作为专业膜厚测定厂商,提供多种支援。

线扫描膜厚仪离线型

产品信息

特点

·全面·高速·高精度进行薄膜等面内膜厚不均一性检测

·硬件·软件均为创新设计

·作为专业膜厚测定厂商,提供多种支援

·实现高精度测量

·实现高速测量(500万点以上/分)

式样

测量位置膜厚(FFT)
位置分解能1mm以下
测量尺寸大250mm宽×无限长度限制
波长范围400~920nm
各单元的波长范围约0.6nm
膜厚测量范围2~250μm
测量间隔100msec~
装置尺寸W600×D680×H1250mm

 

测量例

250mm宽的薄膜案例

 

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