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半导体行业相位差膜・光学材料检查设备

产品时间:2020-06-11

产品型号:RETS-100

厂商性质:生产厂家

简要描述:

半导体行业相位差膜・光学材料检查设备 对应范围广,从反射型・透过型type的已封入液晶的cell到带有彩色滤光片的空cell都可对应。

半导体行业相位差膜・光学材料检查设备 RETS-100

<strong>相位差膜・光学材料检查设备</strong> RETS-100

 

半导体行业相位差膜・光学材料检查设备对应范围广,从反射型・透过型type的已封入液晶的cell到带有彩色滤光片的空cell都可对应

 

产品信息

特 点

• 采用了偏光光学系和多通道分光检出器
• 有可对应各种尺寸的装置,从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板
• 安全对策和粒子对策,可对应液晶line内的检查设备

测量项目

• 封入cell gap
• twist角
• rubbing角
• pretilt角[TN,IPS,FFS,MVA]
• 空cell gap
• 相位差(复折射相位差)的波长分散
• 光学轴
• 椭圆率/方位角
• 三次元折射率/Rth/β
• 分光光谱/色度

测量对象

• 液晶cell
 - 透过、半透过型液晶cell(TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強感应电)
 - 反射型液晶cell(TFT、TN、IPS、VA)
• 光学材料
 - 其他(相位差・椭圆・偏光膜、液晶材料)

仕 样

型号

RETS series

样品尺寸

20mm×20mm ~ * 

cell gap测量范围

0.1μm ~ 数10μm

cell gap重复性

±0.005μm

检出器

多通道分光光度计

测量波长范围

400nm ~ 800nm

光学系
    透过用偏光子unit

偏光光学系
    消光比 10-5内置Gran-tomson prism(方解石)
    自动旋转(角度精度0.1°)、自动装卸机构

测量口径

φ2, φ5, φ10 (mm)

光轴倾斜机构

-20 ~ 45°、-45 ~ 45°等

* 大型玻璃基板也可用(2000mm×2000mm以上)

测量案例

相位差与液晶层间隙值

item_0008retsseries_sub001.jpg

液晶面内分布图

item_0008retsseries_sub002.jpg

 

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