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半导体行业低相位差高速检查设备

产品时间:2020-06-11

产品型号:RE-200

厂商性质:生产厂家

简要描述:

可用于半导体行业低相位差高速检查设备光轴的高精度管理! 3σ≦0.02°,可测量贴合角、0nm RE.。

半导体行业低相位差高速检查设备 RE-200

低相位差高速检查设备 RE-200

半导体行业低相位差高速检查设备适用于光轴的高精度管理! 3σ≦0.02°

低相位差测量

产品信息

特 点

• 可测从0nm开始的低(残留)相位差
• 光轴检出同时可高速测量相位差(Re.)
(相当于0.1秒以下来处理)
• 无驱动部,重复再现性高
• 设置的测量项目少,测量简单
• 测量波长除了550nm以外,还有各种波长
• Rth测量、方位角测量
(需要option的自动旋转倾斜治具
• 通过与拉伸试验机组合,可同时评价膜的偏光特性和光弾性
 (本系统属特注。)

测量项目

• 相位差(ρ[deg.], Re[nm])
• 主轴方位角(θ[deg.])
• 椭圆率(ε)・方位角(γ)
• 三次元折射率(NxNyNz)

用 途

• 位相差膜、偏光膜、椭圆膜、视野角改善膜、各种功能性膜
• 树脂、玻璃等透明、非均质材料(玻璃有变形,歪曲等)

原 理

• 什么是RE-200
• RE-200是光子结晶素子(偏光素子)、CCD相机构成的偏光计测模块和透过的偏光光学系相组合,可高速且高精度的测量位相差(相位差)、及主轴方位角。CCD相机1次快门获取偏光强度模式,没有偏光子旋转的机构,系统整体上是属于小型构造,长时间使用也能维持稳定的性能。

仕 样

型号

RE series

样品尺寸

最小10×10mm ~最大100×100mm

测量波长

550nm (标准仕样)※1

相位差测量范围

约0nm ~约1μm

轴检出重复精度

0.05°(at 3σ) ※2

检出器

偏光计测模块

测量光斑直径

2.2mm×2.2mm

光源

100W 卤素灯或 LED光源

本体・重量

300(W) × 560(H) ×430(D) mm 、约20kg

 Option
• Rth测量、方位角测量※治具本体(旋转:180°, 倾斜:±50°)
• 动旋转倾斜治具

 

 

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