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半导体行业彩色滤光片分光特性测量装置

产品时间:2020-06-11

产品型号:LCF series

厂商性质:生产厂家

简要描述:

半导体行业彩色滤光片分光特性测量装置非常适合彩色滤光片的光学特性检查或玻璃基板上膜的膜厚检查等 FPD生产工程中的所有的检查。

半导体行业彩色滤光片分光特性测量装置 LCF series

<strong><strong>彩色滤光片分光特性测量装置</strong></strong> LCF series

半导体行业彩色滤光片分光特性测量装置非常适合彩色滤光片的光学特性检查或玻璃基板上膜的膜厚检查等 FPD生产工程中的所有的检查。

产品信息

特点

  • 以透过光谱测量、色测量为代表,通过浓度测量、膜厚测量、反射光谱测量等,可对应彩色滤光片制造工程中的所有检查的装置

  • 可用于彩色滤光片的光学特性或玻璃基板上膜的薄膜解析等各类评价

  • 通过自动对焦功能和自动绘素位置相结合,测量精度高,登陆recipe实现完全自动检查

测量项目

 

彩色滤光片评价色测量(透过光谱测量)
     色度(XYZ,xy,Lab,L*a*b*,u'v',u*v*)
     色差,白平衡
反射率测量 *
浓度(OD)测量 *
画素幅测量 *
AF(自动对焦),结合自动绘素 *
膜厚评价膜厚测量
膜物性解析(n:折射率,k:消减系数)

 

测量对象

 R, G, B, ITO, PI, PR, OC, BM

仕样

型号LCF series
样品尺寸50mm×50mm ~*
检出器分光光度计 ( MCPD检出器 ),PMT (option)
图像处理CCD相机及monitor
     自动对焦・结合自动绘画素机构
Stage及测量部支架X-Y-Zstage自动及手动(电动方式)

* 也可用于大型玻璃基板(3000mm×3000mm以上)

测量例

彩色滤光片的R、G、B测量

 02.jpg

 

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