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就是这么简单,一文读懂线扫描膜厚仪

  • 发布日期:2021-01-04      浏览次数:46
    •    就是这么简单,一文读懂线扫描膜厚仪
        线扫描膜厚仪做为一种测量物体厚度的仪器,在很多的行业领域都得到了广泛的应用,尤其是光学膜厚仪,因为测量精度高、非接触测量方式等优点,受到了众多消费者的喜爱。
        对于被测物体的表面不宜太过粗糙,因为粗糙的表面容易引起光的衍射,降低了光学测量仪的测量精度,造成很大的误差。所以被测物体的表面应该尽量保持光滑,以保证测量结果的准确性。
        线扫描膜厚仪的主要组成部分都有哪些呢?赶紧来看看吧。
        A)光学光源装置小型低功率混合式光源
        本系统混合了白炽灯和LED灯,终形成光谱范围360nm-1100nm;该光源系统通过微处理控制,光源平均寿命道10000小时;
        集成小型光谱仪,光谱范围360-1020nm,分辨精度3648像素CCD和16位AD分辨精度.
        集成式反射探针,6组透射光探针(200um),1组反射光探针,探针嵌入光源头,可修整位置,确保探针无弯曲操作;光源功率:3W;
        B)超快扫描系统,平面坐标内,可进行625次测量/分钟(8" wafer)或500次测量/分钟(300mm wafer).全速扫描时,扫描仪的功率消耗不超过200W;
        样品处理台:大样品处理尺寸可达300mm.可满足所有半导体工艺要求的晶圆尺寸。手动调节测量高度可达25mm;配有USB通讯接口,功率:100 - 230V 115W.
        C)FR-Monitor膜厚测试软件系统,
        可准确计算如下参数:
        1)单—或堆积膜层的厚度;
        2)静态或动态模式下,单一膜层的折射率;本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库,可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率,透射率和反射率的测量,还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱,一次使用授权,即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。
        D)参考样片:
        a)经校准过的反射标准硅片;
        b)经校准过的带有SiO2ISi特征区域的样片;
        好了,以上便是关于线扫描膜厚仪的相关内容介绍了。
     
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