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薄膜厚度测试的方法有哪些?

  • 发布日期:2020-07-13      浏览次数:169
    •    薄膜厚度测试的方法有哪些?
        薄膜厚度测试可以分为在线测厚设备和非在线测厚设备两大类。这两类测厚设备如果能够配合使用是较理想的,这一方面是由于在线测厚设备往往采用的非接触式测量方式,用于软包材的厚度检测时无法避免由于材料具有压缩性或是表面平整性不好而引起的数据波动较大的情况。
        而非在线测厚设备可以提供接触式测量方法,有效弥补了在线测厚的这一不足。另一方面在线测厚虽然能有效控制一批薄膜的厚度均匀性,但却不适用于对成品薄膜的抽样检测,因此必须配备非在线测厚设备。
        薄膜厚度测试的方法有以下这些:
        随着科技的进步和精密仪器的应用,薄膜厚度的测量方法有很多,按照测量的方式分可以分为两类:直接测量和间接测量。直接测量指应用测量仪器,通过接触(或光接触)直接感应出薄膜的厚度。
        1、常见的直接法测量有:螺旋测微法、精密轮廓扫描法(台阶法)、扫描电子显微法(SEM);间接测量指根据一定对应的物理关系,将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度,从而达到测量薄膜厚度的目的。
        2、常见的间接法测量有:称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。按照测量的原理可分为三类:称量法、电学法、光学法。
        3、常见的称量法有:天平法、石英法、原子数测定法;常见的电学法有:电阻法、电容法、涡流法;
        4、常见的光学方法有:等厚干涉法、变角干涉法、光吸收法、椭圆偏振法。
        好了,以上便是对薄膜厚度测试的相关内容介绍了。
     
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